강철 금속 소재를 포함하는 첨단 공정 현장에서 진공기술을 이용한 수소의 정성 + 정량적 측정분석을 위해 차별화된 기술을 요구되고 있습니다. 20 mm × 20 mm × 3 mm 이하의 소형 샘플에 적합하며, 1,400 ℃ 내외의 고온 영역, 5 × 10-10 mbar 이하 극초고진공 환경에서 분석이 가능합니다
· Sample Description : up to 20 mm × 20 mm × 3 mm
· Mass Range : (1 ~ 200) amu
· IR Rod Heating : up to 1,400 ℃
· Base Pressure : *process chamber, < 2 × 10-9 mbar / *measurement chamber, < 1 × 10-9 mbar
· DAQ System : manual or automated fully, sample loading to measurement through data analysis
KR
