TDS란 승온탈리분석기로써 시료에 온도를 올리면 시료표면에서 탈리되는 가스를 측정하고 분석하기 위한 장치입니다. 이는 각 분자의 결합에너지에 대한 정확한 정보를 얻을 수 있습니다. 이 기술을 이용하면 초고진공영 역에서 기체양의 변화와 조성을 극미량까지 알 수 있고 온도와 시간에 따른 변화를 정성, 정량적으로 측정가능합니다.
분석기술 중 감도가 가장 좋으며 Chemical free로 안정성까지 우수합니다.
TDS는 시료의 온도를 올리면서 시료의 표면에서 탈리되는 가스를 측정하고 분석하기 위한 장치입니다.
공정중 발생하는 방출 가스의 정성적, 정량적 분석을 통해 원인을 미리 분석하고 예방하기 위한 용도로 사용됩니다.
Simple Idea : Adsorbed particles with different binding energies will desorb at different temperature.
승온에 따른 불순물(Outgassing rate) 검사 기법은 TDS 방법을 사용하여 일반적으로 수행하고 있으나 국소 지향적이고 방향 지향적인 웨이퍼 실시간 불순물 맵핑 측정진단 기법은 현재까지 정립되고 있지 않은 형편에 있으며, 정성분석 및 정량분석이 동시에 가능한 시스템도 전무합니다.당사에서는 이러한 단점을 극복한 TDS 시스템을 공급합니다.
IVT의 TDS는 Calibration, Heating, Pumping Speed 등 타사에 비해 높은 경쟁력을 갖추고 있습니다. 또한, 적용 분야에 따라 사용자 편의적인 DAQ 소프트웨어를 제공합니다.
| fTDS(Fusion)&TVGA | IVT sTDS(smal) | mTDS(moduated) | Company A | Company B | tTDS(throughput) | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Measurement Method | Throughtput⑴ mapping capability | Throughtput⑴ | Modulation⑴ | QMS signal⑵ | QMS signal⑵ | Throughtput⑴ |
| Calibration | O: direct KRISS measurement traceability | O: direct KRISS measurement traceability | O: direct KRISS measurement traceability | Δ indirect traceability, standard sample required | Δ indirect traceability, standard sample required | O: direct NMI measurement traceability |
| Sample | 300mm wafer, Ø60mm | Ø20mm Sample | Ø20mm Sample | Ø10mm Sample | Ø10mm Sample | Ø10mm Sample |
| Heater | Beam heater Lamp heater | IR rod heater | IR rod heater | IR rod heater | Furnace : PID Difficult | IR rod heater |
| Hydrogen Pumping Speedr | Method 1 : not enough calibration only Method 2 : enough | Method 1 : not enough calibration only Method 2 : enough | Variable : dependent on the Position of the Orifice Plunger | Enough | Not enough : buffer zone (two TMPs Required) | Not enough : fixed orifice constraint |
| AnyMolecule, X | Easy : direct measurement | Easy : direct measurement | Difficult | Indefinite Traceability QMS Dependent Signal | Indefinite Traceability, QMS Dependent Signal | Modification required |
| Atomic Mass | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 | 200 |
| Uncerainty | 18.0%(BPG 400 IG) | 4.8% or 18.0% | Conductance Dependent | Unknown | Unknown | 4.8% (370 Stavil IG) |
| DAQ Software | Real Time | Real Time (user specitied) | Not Real Time | Real Time | Real Time | Real Time |
| Maintenance | Easy | Easy | Easy | Very Difficult | Very Difficult | Easy |
| Competitiveness | Most Competitive | Highly Competitive | Competitive | Highly Competitive | Very Competitive | Very Competitive |
(1) P.A.Redhead, “Recommended practices for measuring and reporting outgassing data”, J.Vac.Sci. Technol.A 20(5). Sep/Oct 2002
(2) US 5,528,032(June18,1996) - Thermal Desorption Gas Spectrometer, ESCO Ltd.
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