2024-07-01 435
출처 : IVT Co.,Ltd.
첨부파일 참조
> 품 명
TDS 승온공정부 quartz processing tube
> P/N
TDS-QPT-Dome
> 모 델 명
TDS-QPT-Dome
> 적용설비
300mm wafer TDS 설비 공통
> 주요사양
SiO₂ 99.99% 이상의 고순도
열팽창계수 5.5x10-^7 ℃
연화점이 약 1,700℃
> 재 질
SiO₂ 99.99% 이상의 고순도
> 규격
SiO₂ 99.99% 이상의 고순도
> 교체주기
오염 또는 파손시
> 공 급 사
㈜아이브이티
KR
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