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TDS
sTDS (Thermal Desorption Spectroscopy for Steel and materials of small samples)
在涉及钢铁和金属材料的高科技加工现场，需要使用真空技术对氢气进行定性和定量分析，这就要求采用与众不同的技术。它适用于 20 毫米 × 20 毫米 × 3 毫米或更小的小型样品，可在 1,400 ℃ 左右的高温区域和 5 × 10-10 毫巴或更小的超高真空环境中进行分析。
Specification
· Sample Description : up to 20 mm × 20 mm × 3 mm
· Mass Range : (1 ~ 200) amu
· IR Rod Heating : up to 1,400 ℃
· Base Pressure : *process chamber, < 2 × 10-9 mbar / *measurement chamber, < 1 × 10-9 mbar
· DAQ System : manual or automated fully, sample loading to measurement through data analysis
Applications
- - Metallurgy
- - Semiconductor
- - Thin Film
- - Glass
- - Research & Development