Vacuum Deposition Systems
Trong chân không, kim loại và vật liệu phi kim loại được tích tụ vào các chất nền bằng cách sử dụng nhiệt điện từ, chùm điện tử và plasma. Chúng chủ yếu được sử dụng trong ngành sản xuất năng lượng mặt trời, chất bán dẫn. Nó cung cấp chân không cao và ứng dụng các yếu tố sưởi ấm khác nhau (sheath, Super Kantal, Hallogen, Graphite) trong buồng chân không.
E-beam Evaporation System
- ¤Nguồn E-Beam đơn / đa pocket có nước
Củ lạnh (4 cc đến 75cc) với mỗi cửa chớp riêng lẻ
- ¤Nguồn năng lượng điện áp cao (3kW đến 15kW)
- ¡¤X-Y Beam Sweep & Controller
- ¡¤4¡± Mặt trước của cửa sổ kính có cửa chớp bằng tay
DC Magnetron Sputter
- ¡¤Acó thể sử dụng được trong một.
Hệ thống làm mát nước.
- ¡¤Có sẵn trong nguồn cung cấp điện áp cao
(3kw ~ 10kw)
- ¡¤Substrate Rotation & Heating(100¡É up to 400¡É)
- ¡¤Source size from 3"to 8", User defined source
size available.
E-beam Evaporation System
- ¡¤Nguồn E-Beam một hoặc nhiều Pocket có nguồn điện
Củ lạnh (4 cc đến 75cc) với mỗi cửa chớp riêng lẻ
- ¡¤Cung cấp điện áp cao (3kW đến 15kW)
- ¡¤X-Y Beam Sweep & Controller
- ¡¤4¡±Mặt trước của cửa sổ kính có cửa chớp bằng tay