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fTDS(TDS for Semiconductor Wafer)

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fTDS(TDS for Semiconductor Wafer)

fTDS는 국소 지향적이고 방향 지향적인 웨이퍼 실시간 불순물 맵핑 측정 진단 기법을 위해 개발된 장비입니다.
당사에서는 진공환경에서 다양한 형태의 가열 방식을 채용함으로써 독자적이면서,
진보된 측정 기법을 구현하고 있습니다.

  • Specification

  • ·Sample Size: 300 mm WAFER
  • ·Lamp Heater & Spot Beam Heater
  • ·up to 950℃
  • ·High Vacuum with gold plated chamber
  • ·Semi-automatic (Aligner/WTR)
아이브이티