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dTDS(TDS for Display Materials)

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dTDS (Thermal Desorption Spectroscopy for Display Material)

dTDS는 GLASS재질 상의 유기박막 등의 분석이 가능하며, 외부 환경에 의한 샘플 오염을 최소화하면서
샘플 로딩이 가능하도록 설계되었습니다. 초고진공 영역서 100x100mm 이내의 중소형 샘플에
대한 분석이 용이하도록 설계되었습니다.

  • Specification

  • ·Sample Size: 100X100 mm
  • ·Ultimate pressure: <10-7 mbar
  • ·Semi-Automatic
  • ·Outgassing Rate: >10-6 mbar.L/s
  • ·Mass Range: 1 ~ 200 amu
  • ·Max Temperature: 1,050℃
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