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sTDS(TDS for various type of small samples)

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sTDS (Thermal Desorption Spectroscopy for various type of small samples)

sTDS는 강 등 금속 소재를 포함하는 첨단 대량 생산 공정 현장에서 진공기술을 이용한 극청정 상태에서의
국제적 신뢰성을 가지는 수소의 정성적, 정량적 측정분석을 위해 개발되었습니다. 20x2mm 이하의
소형 샘플에 적합하며, 1000℃ 내외의 고온 영역, 10-10mbar 이하 극초고진공 환경에서 분석이 가능합니다.

  • Specification

  • ·Designed for a 25 mm Sample
  • ·Ultimate pressure: <10^-10 mbar
  • ·IR Rod Heater, QMS 200 amu
  • ·Uncertainty = 4.8 %, 370 Stabil IG
  • ·Uncertainty = 18.0 %, BPG 400 IG
  • APPLICATION

  • ·Hydrogen in metals
  • ·Semiconductors
  • ·Thin films
  • ·Glasses

▶ FEATURES

  • Hydrogen Analysis

  • ·H2 outgassing rate
  • = outgassing rate Q ratio of H2 currents versus currents sum
  • ·Systematically valid for any molecule X
  • ·Systematically valid for any molecule X

  • ·Method #1 & Method #2
  • : experimental in-situ measurement without
    a standard sample versus currents sum
  • ·(HV System) Calibration Factor = TBD

▶ FEATURES

  • Hydrogen Analysis

  • ·H2 outgassing rate
  • = outgassing rate Q ratio of H2 currents versus currents sum
  • ·Systematically valid for any molecule X
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