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aTDS(Automated TDS for semiconductor Wafer)

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aTDS (Automated TDS for Semiconductor Wafer)

aTDS´Â 300mm ¿þÀÌÆÛ ºÐ¼®¿¡ ÀÖ¾î ÀüÀÚµ¿È­¸¦ À§ÇØ EFEM, Wafer Transfer Robot¿Í ÇÔ²² ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç,
»ç¿ëÀÚ ¿ä±¸¿¡ µû¶ó 100, 200, 300, 500 amu µî QMSÀ» ºñ·ÔÇÑ ´Ù¾çÇÑ ¿É¼ÇÀÇ ÇÙ½É ±¸¼ºÇ°À¸·Î Á¦°øµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.

  • Specification

  • ¡¤Sample Size: 300 mm WAFER
  • ¡¤Halogen Lamp Heater
  • ¡¤up to 950¡É
  • ¡¤High Vacuum with gold plated chamber
  • ¡¤Fully Automatic (EFEM/Aligner/WTR)
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