aTDS´Â 300mm ¿þÀÌÆÛ ºÐ¼®¿¡ ÀÖ¾î ÀüÀÚµ¿È¸¦ À§ÇØ EFEM, Wafer Transfer Robot¿Í ÇÔ²² ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, »ç¿ëÀÚ ¿ä±¸¿¡ µû¶ó 100, 200, 300, 500 amu µî QMSÀ» ºñ·ÔÇÑ ´Ù¾çÇÑ ¿É¼ÇÀÇ ÇÙ½É ±¸¼ºÇ°À¸·Î Á¦°øµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.