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aTDS(Automated TDS for semiconductor Wafer)

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aTDS (Automated TDS for Semiconductor Wafer)

aTDS는 300mm 웨이퍼 분석에 있어 전자동화를 위해 EFEM, Wafer Transfer Robot와 함께 구성되어 있으며,
사용자 요구에 따라 100, 200, 300, 500 amu 등 QMS을 비롯한 다양한 옵션의 핵심 구성품으로 제공될 수 있습니다.

  • Specification

  • ·Sample Size: 300 mm WAFER
  • ·Halogen Lamp Heater
  • ·up to 950℃
  • ·High Vacuum with gold plated chamber
  • ·Fully Automatic (EFEM/Aligner/WTR)
아이브이티