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TDS (Thermal Desorption Spectroscopy)

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Introduction

Thermal Desorption Spectroscopy (TDS)는 각 분자 및 원자의 결합에너지에 대한 정보를 얻는데 주로 이용됩니다.
진공게이지와 질량분석기를 사용하여 진공 공정 중에서 생기는 기체의 양과 성분을 분석합니다. 이 기술을 이용하면
진공장치 내에서 기체양의 변화와 기체조성을 극미량까지 알 수 있고 온도별 시간별 변화 측정이 가능하여
생산성 향상 및 문제의 원인규명 등이 가능합니다. 분석기술 중 감도가 가장 좋으며,
질량 분석기 사용 시 모든 기체 조성 분석이 가능합니다.

What is TDS?

TDS는 시료의 온도를 올리면서 시료의 표면에서 탈리되는 가스를 측정하고 분석하기 위한 장치입니다.
공정중 발생하는 방출 가스의 정성적, 정량적 분석을 통해 원인을 미리 분석하고 예방하기 위한 용도로 사용됩니다.

Quantitative Analysis

Quadrupole Mass Spectrometer

Applications

  • - 반도체, 디스플레이 재료 분석
  • - 자동차, 철강 재료 수소 분석
  • - 초순수 재료, 극미량 분석

승온에 따른 불순물(Outgassing rate) 검사 기법은 TDS 방법을 사용하여 일반적으로 수행하고 있으나
국소 지향적이고 방향 지향적인 웨이퍼 실시간 불순물 맵핑 측정진단 기법은 현재까지 정립되고
있지않은 형편에 있으며, 정성분석 및 정량분석이 동시에 가능한 시스템도 전무합니다.
당사에서는 이러한 단점을 극복한 TDS 시스템을 공급합니다.

Performance Comparisions

IVT의 TDS는 Calibration, Heating, Pumping Speed 등 타사에 비해 높은 경쟁력을 갖추고 있습니다.
또한, 적용 분야에 따라 사용자 편의적인 DAQ 소프트웨어를 제공합니다.

DAQ S/W

아이브이티