Products

TDS
(Thermal Desorption Spectroscope)

최근 대부분의 반도체 공정은 진공 중에서 진행되며 공정 중에 발생하는 이상현상에 대해서는 분석하기가 상당히 어려운 것이 현실입니다. 이 때문에 공정 중 발생하는 outgas의 정성적/정량적 분석을 통해 불량의 원인을 미리 분석하고 예방하기 위하여 본 TDS(Thermal Desorption Spectroscopy)라는 측정장비가 필요합니다.

WLIMS
(Wafer-Level Impurity Mapping System)

기존의 VPD-ICP-MS나 TXRF와 같이 고가의 분석 시스템을 요구하지 않으면서도 유사한 감도를 나타내며, 최소한의 전처리 요구로 반도체 생산 line에 on-line monitoring이 가능하게 한 최초의 시스템입니다.

Ceramic pebbles
기존 세라믹 볼 생산 방식은 볼 크기 및 불순물 생성 등의 제약이 있어 리튬 티타늄 산화물을 이용한 핵융합로용 증식재 생산 방식에 적용이 어렵다는 한계가 있었습니다. 리튬 티타늄 산화물(Li2TiO3)은 핵융합로용 삼중수소 증식재로 사용됩니다. 당사에서는 연간 50㎏ 이상의 대량 생산이 가능한 제조 시스템을 개발했습니다.

Notice

IVT