aTDS 분석 공정 중 EFEM부에서 robot hand에 전달되는 출력이 주위 환경에따라 기계적인 feedback 오차를 방지하기위해  모터의 토크, 속도, 위치를 정밀한 제어를 위한 용도.

- 토크제어, 위치/속도모드,  토크모드, 토크/속도제한 모드, 위치/다단속모드
- Zero-clamp, soft start / stop, speed 결정
- Brake 제어, tuning, reverce 운전기능
- INPUT: 200/240VAC 8A 1PH 50/60Hz
- OUTPUT: 0/240VAC 3PH 400W 3.3A