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9 제품설명 >> aTDS EFEM R-SvDrive 2022.07.19 109
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내용
출처 : IVT Co.,Ltd.

aTDS 분석 공정 중 EFEM부에서 robot hand에 전달되는 출력이 주위 환경에따라 기계적인 feedback 오차를 방지하기위해  모터의 토크, 속도, 위치를 정밀한 제어를 위한 용도.

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