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aTDS(Automated TDS for semiconductor Wafer)

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aTDS (Automated TDS for Semiconductor Wafer)

aTDS由EFEM和Wafer Transfer Robot组成,用于300 mm晶圆分析中的全自动化。
根据用户的需求,可提供包括QMS,包括100、200、300和500 amu等在内的不同选项核心组件。

  • Specification

  • ·Sample Size: 300 mm WAFER
  • ·Halogen Lamp Heater
  • ·up to 950℃
  • ·High Vacuum with gold plated chamber
  • ·Fully Automatic (EFEM/Aligner/WTR)
IVT