aTDS (Automated TDS for Semiconductor Wafer)
aTDS由EFEM和Wafer Transfer Robot组成,用于300 mm晶圆分析中的全自动化。
根据用户的需求,可提供包括QMS,包括100、200、300和500 amu等在内的不同选项核心组件。
Specification
- ·Sample Size: 300 mm WAFER
- ·Halogen Lamp Heater
- ·up to 950℃
- ·High Vacuum with gold plated chamber
- ·Fully Automatic (EFEM/Aligner/WTR)