Products
  • >
  • Products
  • >
  • TDS

Introduction

TDS是一种升温解析分析仪,用于提高样品温度,以测量和分析样品表面解析的气体。以此获
取每个分子的结合能的准确信息。利用这种技术,可以了解极微量在超高真空区中机体量的变
化和组成,并且能够对温度和时间的变化进行定性、定量的测量。在分析技术中灵敏度最好, 并且无化学物,稳定性也十分优异。

What is TDS?

TDS是一种通过提高样品的温度,来测量和分析样品表面气体的装置。
用于对过程中产生的释放气体进行定性和定量分析,以提前分析和预防原因。

Quantitative Analysis

Quadrupole Mass Spectrometer

Why TDS?

Simple Idea:
Adsorbed particles with different binding energies will desorb at different temperature.

Applications

  • - 半导体、显示材料分析
  • - 汽车、钢铁材料氢分析
  • - 超纯材料、极微量分析

尽管通常使用TDS方法执行升温的杂质(Outgassing rate)检测技术,但面向局部和定向的晶片 实时杂质映射测量诊断技术,目前尚未在全球范围内建立。之前也没有同时提供定性分析和定 量分析的系统。本公司提供克服了这些缺陷的TDS系统。

Performance Comparisions

IVT的TDS在Calibration、Heating和Pumping Speed(校准、加热、泵浦速度)等方面,与第三方相比具有很高的竞争力。
此外,根据不同的应用领域,我们还提供用户优化DAQ软件。

DAQ S/W

IVT