INFINITY VACUUM TECHNOLOGY - IVT.CO.LTD.

(주)IVT를 방문하여 주셔서 감사합니다.

(주)IVT는 25년 경력의 가공기술팀과 설계팀 등으로 이루어진 젊은 벤처로서 4대 A++고객만족을 슬로건을 이념으로 하고 있습니다.
수주부터 설계, 제작, 납품, 사후관리까지 자체적으로 처리하고 관리함으로써 정직한 가격을 실현함과 동시 최고의 품질 그리고 무한책임을 약속합니다.

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PRODUCTS

Ultra High Vacuum Degassing Chamber
최근 대부분의 반도체 공정은 진공 중에서 진행되며 공정 중에 발생하는 이상현상에 대해서는 분석하기가 상당히 어려운 것이 현실입니다.
이 때문에 공정 중 발생하는 outgas의 정성적/정량적 분석을 통해 불량의 원인을 미리 분석하고 예방하기 위하여 본 TDS(Thermal Desorption Spectroscopy)라는 측정장비가 필요합니다.
기존의 VPD-ICP-MS나 TXRF와 같이 고가의 분석 시스템을 요구하지 않으면서도 유사한 감도를 나타내며, 최소한의 전처리 요구로 반도체 생산 line에 on-line monitoring이 가능하게 한 최초의 시스템입니다.
E-Beam 시스템은 광학 다층 박막 공정 전자총으로 증발면에 수직으로 전자 Beam을 제공하는 장비입니다. 이는 PVD 프로세스로 MEMS 공정으로 잘 알려져 있습니다.
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